真空衰減法檢漏儀可以檢測微小漏孔，尤其是廣泛用于醫藥包裝產品的完整性檢測，可檢測產品包括泡罩包裝產品，空注射器，預灌封注射器，液體西林瓶，凍干粉西林瓶及其他液態灌封包裝等。廣泛應用于藥品生產廠家，藥包材生產廠家、質檢系統、第三方檢測機構、大中專院校、科研院所等單位。真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟如下：
1、了解待檢設備的結構組成和裝配過程。掌握設備的要求，查明需要進行檢漏的重點可疑部位。
2、根據所規定的最大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經濟、快速、可靠等原則出發，正確選擇好檢漏方法或儀器，準備好檢漏時所需的輔助設備后擬定切實可行的檢漏程序。
3、應對被檢件進行好清潔工作，取出焊渣、油垢后再按真空衛生條件進行清潔處理，并予以烘干。對要求高的小型器件。清潔處理后可通過真空烘干箱進行烘烤，進行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，而且也保護了檢漏儀器。
4、對所選用的檢漏方法和檢漏設備進行檢漏靈敏度的校準，并確定檢漏系統的檢漏時間。
5、若采用真空檢漏法時，為了提高儀器的靈敏度，應盡可能將被檢件抽到較高真空。
6、在允許的前提下，應盡可能優先應用較為經濟和現場具備條件的檢漏方法。
7、采用氦質譜檢漏設備檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏產生的被檢件時，在檢漏初期應盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然后再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。
8、對已檢出的大漏孔及時進行修補堵塞后再進行小漏孔的檢漏。
9、對檢出并修補的漏孔進行一次復查以確保檢漏結果達到要求。
